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[单选题]

离子刻蚀加工时,离子源产生的离子束通常采用的是()的离子。

A.红宝石

B.氢气

C.氩气

D.氧气

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第1题
用于离子辅助镀膜的离子源,有产生离子束的,也有产生等离子体的。潘宁离子源是一种典型的产生等离子体的离子源。()
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第2题
离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成()离子,并通过一个引出系统形成离子束。

A.正

B.负

C.中性

D.以上答案都可以

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第3题
离子束加工分为( )。

A.离子刻蚀

B.离子溅射沉积

C.离子焊接

D.离子镀

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第4题
离子源,又称( )。其功能是将样品导入系统引入的( )转化成离子,同时又具有准直和聚集作用,使离子会聚成具有一定几何形状和能量的离子束进入质量分析器。
离子源,又称()。其功能是将样品导入系统引入的()转化成离子,同时又具有准直和聚集作用,使离子会聚成具有一定几何形状和能量的离子束进入质量分析器。

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第5题
离子束加工原理:在大气中,把氩、氪、氙等惰性气体,通过离子源产生离子束并经过加速、集束、聚焦后,投射到工件表
面的加工部件上,以实现去除加工。( )
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第6题
离子束加工技术利用注入效应加工的是()。

A.溅射镀膜

B.离子镀

C.离子注入

D.离子束刻蚀

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第7题
干法刻蚀主要包括下面几类()。

A.离子束刻蚀IBE

B.等离子体刻蚀PE

C.反应离子刻蚀RIE

D.高密度等离子体刻蚀HDP

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第8题
利用两个电极之间的真空击穿来产生离子的离子源有()。

A.电子轰击型离子源

B.离子轰击型离子源

C.表面电离源

D.振动电弧源

E.高频火花源

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第9题
在加工时,因为采用了近似的运动方式或者形状近似的刀具而产生的误差称为______误差。
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第10题
加工时采用了近似的加工运动或近似刀具的轮廓产生的误差称为()

A.加工原理误差

B.车床几何误差

C.刀具误差

D.调整误差

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第11题
如图画出的是质谱仪的原理图。离子源S产生一个质量为m、电荷为+q的离子,离子在离开S前基本上是静止的。离子产

如图画出的是质谱仪的原理图。离子源S产生一个质量为m、电荷为+q的离子,离子在离开S前基本上是静止的。离子产生出来后,被一电压U加速,再进入磁感强度为B的磁场中。在磁场中粒子沿半圆周运动到照相底片的x处。试证明离子的质量由下式给出:

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