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[多选题]

离子束加工分为( )。

A.离子刻蚀

B.离子溅射沉积

C.离子焊接

D.离子镀

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第1题
离子刻蚀加工时,离子源产生的离子束通常采用的是()的离子。

A.红宝石

B.氢气

C.氩气

D.氧气

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第2题
离子束加工技术利用注入效应加工的是()。

A.溅射镀膜

B.离子镀

C.离子注入

D.离子束刻蚀

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第3题
离子束加工是离子经聚焦后高速撞击工件表面靠机械动能将材料去除。()

离子束加工是离子经聚焦后高速撞击工件表面靠机械动能将材料去除。( )

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第4题
由于离子的质量远大于电子,故离子束加工的生产率比离子束高,但表年粗糙度稍差。()
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第5题
下列选项中,哪个是离子束加工所具有的特点()

A.加工表面不产生热量,但有氧化现象

B.加工中应力和变形极小

C.离子撞击工件表面,将机械能转化为热能,使工件表面融化,灼除工件材料

D.离子束加工工件和电源正极相连

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第6题
( )加工技术是纳米加工技术的基础。

A.电子束

B.离子束

C.激光

D.电火花

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第7题
干法刻蚀主要包括下面几类()。

A.离子束刻蚀IBE

B.等离子体刻蚀PE

C.反应离子刻蚀RIE

D.高密度等离子体刻蚀HDP

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第8题
能够在淬硬材料上加工能够在淬硬材料上加工小孔特种加工方法有( )。小孔特种加工方法有( )。

A.电火花加工

B.超声波加工

C.离子束加工

D.激光加工

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第9题
按加工原理分类,特种加工机床可以分为()

A.超声波加工

B.电子束加工

C.电加工

D.离子束加工

E.激光加工

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第10题
离子束是以近似一致的速度沿几乎同一方向运?动的一群离子。()
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