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[多选题]
下列选项中,属于熔融沉积成型工艺优点的有()。
A.系统结构简单,成本较低,运行安全
B.材料强度高
C.成型材料种类较多,成本低
D.设备体积小
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A.系统结构简单,成本较低,运行安全
B.材料强度高
C.成型材料种类较多,成本低
D.设备体积小
A.易于进行腐蚀加工
B.带隙大小适中、硅表面上很容易制备高质量的介电层SiO2
C.易于通过沉积工艺制备出单晶硅、多晶硅和非晶硅薄膜材料
D.易于进行n型和p型掺杂